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本实用新型揭示了一种硅片载片盒，为顶部及侧面局部敞口的矩形盒体。特别地，该矩形盒体设有由载片支撑底板分隔的两个区域空间，载片支撑底板上侧为放置硅片区域，载片支撑底板下侧与矩形盒体底板之间为放置流程卡区域，并且放置硅片区域的内壁设有减少硅片与...
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