下载具有静压导向功能的一体式三轴向解耦装置及振动台的技术资料

文档序号:15829089

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本实用新型公开了一种具有静压导向功能的一体式三轴向解耦装置,包括连接主体、滑轨、X轴导向组件、Y轴导向组件以及Z轴导向组件,连接主体包括一壳体,滑轨设置在壳体的内部,壳体的侧壁分别设置有X轴通道、Y轴通道以及Z轴通道,X导向轴、Y导向轴以及...
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