温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种镀膜基片的装卸机构，其特征在于：所述装卸机构至少包括进片翻转机构、出片翻转机构、进片室输送机构、出片室输送机构和搬送室输送机构，其中所述进片翻转机构用于将水平状态的未镀膜基片翻转至垂直状态并输送至所...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。