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可见光和紫外选择性光电探测器制造技术
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下载可见光和紫外选择性光电探测器的技术资料
文档序号:15824456
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本申请提供一种可见光和紫外选择性光电探测器,包括绝缘基板上的紫外探测部分、薄膜晶体管、横向可见光探测部分,合理设计探测器结构,通过将紫外探测部分、可见光探测部分和薄膜晶体管集成在一个衬底上,并且紫外探测的功能层作为薄膜晶体管的沟道层,缩小器...
该专利属于黄晓敏所有,仅供学习研究参考,未经过黄晓敏授权不得商用。
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