下载利用大气压低温等离子体提高电容器储能密度的方法的技术资料

文档序号:15824174

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本发明涉及一种利用大气压低温等离子体提高电容器储能密度的方法,包括:将待处理的电容器薄膜清洗、干燥;选定大气压低温等离子体产生设备,将所述电容器薄膜放置于大气压低温等离子体产生设备的等离子体产生区域;选定高压电源、前驱物和工作气体的种类,并...
该专利属于中国科学院电工研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

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