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一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统技术方案
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文档序号:15820991
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本发明公开了一种真空紫外波段像增强器光谱响应测试系统,该系统包括氘灯、能量优化器、单色仪、准直器、真空室、抽气系统、测试样品真空腔及其样品夹具、机械泵、分子泵、直流—交流电流计、高压电源、斩波器、锁相放大器、真空度测试仪、工控计算机。该系统...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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