下载基于激光干涉全息检测法的轴承球球形误差快速检测方法的技术资料

文档序号:15820764

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本发明涉及一种基于激光干涉全息检测法的轴承球球形误差快速检测方法。激光干涉仪产生球面光束;调心装置调整球心位置,对准光束焦点;球面光束对球体表面进行扫描;拍照获取球体表面局部干涉图;生成球体局部表面形貌图;展开机构进行球面展开;重复第二步至...
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