下载LED倒装芯片的制备方法的技术资料

文档序号:15799633

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本发明涉及LED芯片工艺领域,公开了一种LED倒装芯片的制备方法,包括提供透光衬底;在透光衬底上生长外延层;在各芯片单元区域上刻蚀出N电极沟槽以形成Mesa平台;在Mesa平台之上形成P‑欧姆接触层;在P‑欧姆接触层之上形成反射层;在N电极...
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