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本发明采用射频气体放电方式激发惰性气体等离子体，提供一种用于产生真空紫外光源的装置。该装置由中心柱形相互作用腔、同轴环形放电光源腔、射频螺旋共振激发腔与超高真空法兰连接件四部分组成。该装置采用氟化镁晶体材料制成的圆管作为光学窗，真空紫外光在...
该专利属于中国人民解放军装备学院所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军装备学院授权不得商用。

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