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本发明公开了一种基板处理装置及其处理方法，属于平板显示技术领域。本发明包括一种基板处理装置至少包括一负极机构，负极机构至少包括一第一靶位以及对应第一靶位的第一驱动机构，第一靶位具有第一靶材以及至少一第一磁钢；第一靶材固定于第一靶位，第一磁钢...
该专利属于浙江金徕镀膜有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江金徕镀膜有限公司授权不得商用。

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