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提供一种在搬运多张基板时的调度表生成中，能够生成时间效率高的调度表的技术。本发明的调度表生成装置，在通过处理部对多张基板进行处理并搬运时的调度表生成中，判断是否能够通过一并搬出流程使搬运比通过依次搬出流程早结束，然后根据判断结果选择性地采用...
该专利属于斯克林集团公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯克林集团公司授权不得商用。

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