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本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管、阵列基板、制作方法及显示装置。该金属氧化物薄膜晶体管的制作方法包括:提供一基底;在所述基底上形成金属氧化物半导体层;对所述金属氧化物半导体层进行补氢处理,在所述金属氧化物半导体层表面形成氢氧基。表面形成有...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管、阵列基板、制作方法及显示装置。该金属氧化物薄膜晶体管的制作方法包括:提供一基底;在所述基底上形成金属氧化物半导体层;对所述金属氧化物半导体层进行补氢处理,在所述金属氧化物半导体层表面形成氢氧基。表面形成有...