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绝缘栅双极晶体管的背面场栏的低温氧化层制作方法技术
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文档序号:15793588
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一种绝缘栅双极晶体管的背面场栏的低温氧化层制作方法,先在一第一导电型基板的一正面制作正面元件及正面金属层。于第一导电型基板的背面制作多重凹槽结构,于每一凹槽外侧具有一第一导电型杂质植入层图案,于多重凹槽结构底部具有一第一导电型杂质植入层。以...
该专利属于节能元件控股有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过节能元件控股有限公司授权不得商用。
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