下载一种硅片的自动收纳机构的技术资料

文档序号:15789032

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本实用新型公开了一种硅片的自动收纳机构,其包括机身以及设置在机身内的收集框输入组件、收集框输出组件、硅片检测输入组件与机械爪组件,所述的所述的收集框输入组件、硅片检测输入组件水平设置,所述的收集框输入组件位于收集框输出组件的一端且垂直于收集...
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