下载一种全吸附式晶片固定装置的技术资料

文档序号:15789023

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本实用新型公开了一种全吸附式晶片固定装置,包括真空吸附平台,所述真空吸附平台的吸附面上铺设有安装板,安装板的与所述吸附面相接触的一侧面为真空连接面,真空连接面为光滑平面,安装板的真空连接面与所述吸附面形成真空吸附连接,安装板上与真空连接面相...
该专利属于郑州晶润光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过郑州晶润光电技术有限公司授权不得商用。

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