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一种力传感器制造技术
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文档序号:15788828
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本发明提供了一种谐振式力传感器,包括薄片式基体。基体包括自由端和固定端,在基体内开有通孔,通孔包括靠近固定端的第一部分和靠近自由端的第二部分。通孔的第一部分和第二部分具有不相等的长度和宽度。该谐振式力传感器还包括沿着从自由端到固定端的方向延...
该专利属于冯一然所有,仅供学习研究参考,未经过冯一然授权不得商用。
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