下载容纳并加热材料的坩埚以及包括坩埚和加热器布置的系统的技术资料

文档序号:15784160

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本发明涉及一种用于容纳和加热待蒸发或升华的材料的坩埚以及一种包括这样的坩埚和用于加热该坩埚的加热器布置的系统。坩埚包括:至少一个凹穴式凹处,其适合用于接纳待蒸发或升华的材料,所述凹穴式凹处形成在坩埚的第一表面中;以及底部凹处和/或侧凹处,底...
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