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氯硅烷废液的回收系统技术方案
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文档序号:15779510
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本发明提供了一种氯硅烷废液的回收系统。该回收系统包括进料单元、载气加热单元、喷雾干燥单元和气固分离单元;其中喷雾干燥单元设置有进料口、载气入口和气固混合物出口,且进料口与进料单元相连通,载气入口与载气加热单元相连通,气固分离单元与气固混合物...
该专利属于中国恩菲工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。
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