下载一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路的技术资料

文档序号:15766862

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本发明公开了一种低功耗低噪声MEMS加速度计接口电路,所述接口电路包括:电荷转换器电路、PI控制器电路、差分驱动电路,MEMS加速度计的检测正极SP和检测负极SN分别输入相位相反的脉冲电压,MEMS加速度计的驱动正极和驱动负极分别接差分驱动...
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