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本发明属于半导体技术领域，涉及一种具有N型浮空埋层RESURF HEMT器件。本发明的技术方案，通过引入P型缓冲层及N型浮空埋层，P型缓冲层与沟道处2DEG形成RESURF效应，调制器件横向电场；N型浮空埋层与P型缓冲层形成PN结，阻断状态...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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