下载多区主动矩阵温控系统和温控方法及其适用的静电吸盘和等离子处理装置的技术资料

文档序号:15765561

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本发明一种多区主动矩阵温控系统,该温控系统设有温控矩阵和栅极驱动器;温控矩阵包含:组成N行M列矩阵的N*M个温控模块、电源供应线、电源返回线;每个温控模块包含:温控单元,其通电加热进行温度控制;半导体开关,其设有连接栅极驱动器的栅极,其栅极...
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