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本发明一种多区主动矩阵温控系统,该温控系统设有温控矩阵和栅极驱动器;温控矩阵包含:组成N行M列矩阵的N*M个温控模块、电源供应线、电源返回线;每个温控模块包含:温控单元,其通电加热进行温度控制;半导体开关,其设有连接栅极驱动器的栅极,其栅极...该专利属于中微半导体设备(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中微半导体设备(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明一种多区主动矩阵温控系统,该温控系统设有温控矩阵和栅极驱动器;温控矩阵包含:组成N行M列矩阵的N*M个温控模块、电源供应线、电源返回线;每个温控模块包含:温控单元,其通电加热进行温度控制;半导体开关,其设有连接栅极驱动器的栅极,其栅极...