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本实用新型公开了一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量装置。本实用新型由激光干涉单元和偏振态检测单元两部分组成。激光干涉单元在单频迈克尔逊干涉仪的基础上加入偏振元件，以实现激光偏振态的转换。偏振检测单元为采用基于电光液晶相位调制的偏振...
该专利属于中国计量大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量大学授权不得商用。

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