温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

[课题]提供能够提高蚀刻加工精度、且能够以良好的精度检测自身缺陷的金属掩模材料和金属掩模。[解决手段]金属掩模材料，其由Fe‑Ni系合金的轧制板形成，所述Fe‑Ni系合金的轧制板包含总计30~45质量%的Ni和Co，其中含有0~6质量%的C...
该专利属于JX金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过JX金属株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。