下载小发散角脊型激光器及其制作方法的技术资料

文档序号:15749295

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本发明提供了一种小发散角脊型激光器及其制作方法,所述激光器包括外延结构以及形成于外延结构上的脊波导结构,所述脊波导结构包括沿出光方向依次设置的平行增益区和光场模式扩展区,所述光场模式扩展区的宽度沿着出光方向逐渐增加,所述光场模式扩展区的较窄...
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