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本实用新型提出一种晶圆缺陷快速定位装置，包括：晶圆光学检测设备，包括移动载片台和光学检测装置；线性编码尺，设置于所述移动载片台边缘下部，其中所述线性编码尺包括X轴和Y轴方向两部分，并在水平方向上相互垂直。本实用新型提出了的晶圆缺陷快速定位装...
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