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本实用新型公开了一种光罩检测装置，其包含检测基座、移动平台、转动平台、承载平台、激光测距模块、垂直位移模块、处理模块及影像采集模块。检测基座的一面上设有支架。移动平台设于检测基座的一面上。转动平台设于移动平台之上。承载平台设于转动平台的一面...
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