下载基于受限液滴谐振的集成光学生化传感芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:15744317

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本发明公开了一种基于受限液滴谐振的集成光学生化传感芯片及其制作方法。掩埋光波导、光输入接口和光输出接口均埋设在衬底中,微流通道水平置于位于掩埋光波导正上方的衬底上,连续相充满在微流通道内腔,液滴发生器设置在微流通道的一端,液滴发生器用于输送...
该专利属于浙江大学宁波理工学院所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学宁波理工学院授权不得商用。

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