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聚合物、有机层组成物以及形成图案的方法技术
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文档序号:15738554
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本发明提供一种聚合物、有机层组成物以及形成图案的方法,其包含由化学式1表示的结构单元的聚合物,和包含所述聚合物的有机层组成物,以及形成图案的方法。化学式1与具体实施方式中所定义的相同。本发明提供的聚合物具有改进的溶解度,同时确保抗蚀刻性;有...
该专利属于三星SDI株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星SDI株式会社授权不得商用。
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