下载聚合物、有机层组成物以及形成图案的方法的技术资料

文档序号:15738554

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本发明提供一种聚合物、有机层组成物以及形成图案的方法,其包含由化学式1表示的结构单元的聚合物,和包含所述聚合物的有机层组成物,以及形成图案的方法。化学式1与具体实施方式中所定义的相同。本发明提供的聚合物具有改进的溶解度,同时确保抗蚀刻性;有...
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