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本实用新型涉及蒸发源技术领域,尤其涉及一种可移动的线性蒸发源速率监测系统及其蒸镀设备,包括移动装置、蒸镀速率监测装置和蒸镀材料阻挡装置;所述移动装置为滑轨;所述监测装置滑动设置于所述滑轨上;所述阻挡装置包括两个滚轴、驱动所述滚轴的驱动装置、...该专利属于信利(惠州)智能显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过信利(惠州)智能显示有限公司授权不得商用。
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