温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种基板翻转装置及包括其的化学机械研磨系统，用于化学机械研磨工艺的基板翻转装置包括：基板夹紧部，其对基板的侧面进行支撑并使得基板翻转旋转；多个可动夹紧部，其与基板的侧面接触，并设置为能够与基板夹紧部的内面靠近及隔开；多个感知部...
该专利属于K.C.科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过K.C.科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。