下载一种提高浪涌能力的碳化硅肖特基二极管结构及制备方法的技术资料

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本发明公开了一种提高浪涌能力的碳化硅肖特基二极管结构及制备方法,该结构包括第一导电类型碳化硅衬底、位于碳化硅衬底上的漂移层,以及阳极电极和以及阴极电极,其特征在于,漂移区表面具有第二导电类型主结、位于主结一侧的第二导电类型浮空场限环,以及位...
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