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本发明提供一种TFT基板及其制作方法。本发明的TFT基板的制作方法，采用底栅极结构制作TFT基板，整个制程使用七道光罩完成，与现有技术相比，有效减少了光罩的使用数量，简化了TFT基板的制作流程，同时有效提升产品良率，提高产能；通过对半导体图...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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