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制造薄膜晶体管的方法、薄膜晶体管基板和平板显示装置制造方法及图纸
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下载制造薄膜晶体管的方法、薄膜晶体管基板和平板显示装置的技术资料
文档序号:15726002
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本发明提供一种制造薄膜晶体管的方法、薄膜晶体管基板和平板显示装置。其中制造薄膜晶体管的方法包括:在基板上形成氧化物半导体;在基板上层叠绝缘层和金属层以覆盖氧化物半导体;在金属层上形成光敏图案;通过使用光敏图案作为掩模蚀刻金属层而形成栅电极,...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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