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本实用新型公开了一种基于MEMS工艺的硅基TEM波天线阵列，涉及波导天线技术领域。所述天线阵列包括从上到下依次固定连接在一起的天线层、窗口层和耦合能量层，所述天线层、窗口层和耦合能量层采用硅基介质基板制作，所述天线层的上表面设有两行以上且行...该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所;清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所;清华大学授权不得商用。