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一种感光性树脂组合物及其应用制造技术
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文档序号:15723257
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本发明公开了一种感光性树脂组合物及其应用,其组成为:a)碱溶性树脂b)1,2‑二叠氮醌化合物;c)含环氧基的聚乙烯醇缩醛化合物;d)溶剂。本发明的有益效果在于:灵敏度、平整性、粘结性和热稳定性优良,适宜形成半导体集成电路的绝缘平整化膜。...
该专利属于青岛蓝帆新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛蓝帆新材料有限公司授权不得商用。
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