下载一种用于芯片失效分析中定位的背面观察基座及使用方法的技术资料

文档序号:15722588

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本发明提供了一种用于芯片失效分析中精确定位的背面观察基座,其包括金属支架,所述金属支架的中心设有中心孔,在该中心孔中安装有玻璃片,在所述玻璃片上还设置有用于提供基准坐标的两个特殊标记,所述两个特殊标记为蚀刻于或粘贴于所述玻璃片上的,其位置为...
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