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一种用于芯片失效分析中定位的背面观察基座及使用方法技术
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文档序号:15722588
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本发明提供了一种用于芯片失效分析中精确定位的背面观察基座,其包括金属支架,所述金属支架的中心设有中心孔,在该中心孔中安装有玻璃片,在所述玻璃片上还设置有用于提供基准坐标的两个特殊标记,所述两个特殊标记为蚀刻于或粘贴于所述玻璃片上的,其位置为...
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