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本发明一种高灵敏度且大形变量的柔性应力传感器及其制造方法。本发明通过使用阳极氧化铝模板在硅橡胶基底上引入团簇的纳米线结构，在其上面喷镀一层金属膜作为导电层，相对于无结构的基底极大地提高了柔性应力传感器的拉伸范围，同时传感器具有极高的灵敏度。...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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