下载一种三维电磁悬浮微镜的技术资料

文档序号:15721437

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本实用新型公开了一种三维电磁悬浮微镜,包括定子和转子,所述定子包括若干块轴向旋转驱动电极、若干块径向旋转驱动电极、公共电极、悬浮线圈、稳定线圈及引脚,若干块轴向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,若干块径向旋转驱动电极呈环形分布于定子上,公共电...
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