下载漏连接半超结氮化镓基垂直型异质结功率器件的技术资料

文档序号:15705780

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本发明公开了一种漏连接半超结氮化镓基垂直型异质结功率器件,其自下而上包括:肖特基漏极(15)、衬底(1)、漂移层(3)、孔径层(5)、左右两个对称的电流阻挡层(6)、沟道层(8)、势垒层(9)、帽层(10)和栅极(12);两个电流阻挡层(6...
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