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本发明提供一种离子注入设备，设有用于产生离子的离子源和用于引出离子束的引出电极系统，所述引出电极系统的电极板上设有离子束引出口；其特征在于：引出电极系统的外壁设置有螺旋线圈，所述螺旋线圈持续通入直流电，形成沿离子束流方向的磁场；所述磁场的磁...
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