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本发明涉及一种真空紫外光谱辐射计校准方法及装置，所述方法包括：光谱辐射亮度响应度校准、光谱辐射照度响应度校准和/或波长准确度校准，上述校准均是在无油真空仓中进行的。所述装置包括光谱辐射亮度响应度校准机构、光谱辐射照度响应度校准机构和波长准确...
该专利属于北京振兴计量测试研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京振兴计量测试研究所授权不得商用。

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