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本申请提供了一种导向管、薄膜厚度传感器及蒸镀设备，用以减小因导向管入口处蒸镀物堆积对薄膜厚度检测准确度的影响，本申请提供的一种导向管，用于薄膜厚度传感器，所述导向管中空，包括：蒸镀物入口和蒸镀物出口；其中，所述蒸镀物入口的截面积大于所述蒸镀...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司授权不得商用。