下载齿轮加工中用于干切削的纳米涂层刀具的涂覆方法的技术资料

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齿轮加工中用于干切削的纳米涂层刀具的涂覆方法。本发明方法包括:刀具的纳米涂层的涂覆可采用先进的封闭场不平衡磁溅射法(CFUMS),具体步骤如下所述:磁源靶置于真空室内壁上,被涂刀具置于转鼓上,将氩气通入真空室中。根据涂层材料是非导体或导体,...
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