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本发明公开了一种高质量的TiN薄膜的制备方法，包括以下步骤：选用Ti铸锭经锻造、轧制、热处理、校平和机加工后制成钛板条；然后对其进行激光雕刻处理，并用卷圆机将雕刻后的钛板条卷圆成钛环，清洗烘干后，得到溅射钛环；以钢片作为基体，将钛环和钛钯采...
该专利属于郭和谦所有，仅供学习研究参考，未经过郭和谦授权不得商用。

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