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大面积激光加热系统技术方案
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文档序号:15697509
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本实用新型提供一种大面积激光加热系统,其包含激光模块、反应模块以及导引模块。激光模块包含用以发射激光光束的垂直腔面发射激光器以及连接于垂直腔面发射激光器的激光调整机构,其中垂直腔面发射激光器所发射的激光光束的入射角通过所述激光调整机构进行调...
该专利属于铠柏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铠柏科技有限公司授权不得商用。
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