下载高功率微波介质窗击穿真空侧等离子体诊断装置及方法的技术资料

文档序号:15696663

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本发明公开一种高功率微波介质窗击穿真空侧等离子体诊断装置及方法,装置主要包括馈源喇叭、位于馈源喇叭底部的介质窗、长度不同的光纤束、光谱仪和相机,所述馈源喇叭靠近介质窗的侧壁上分别在沿着三个方向开有矩阵阵列光纤孔;所述三个方向包括与电场极化方...
该专利属于西北核技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西北核技术研究所授权不得商用。

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