下载一种石英晶体谐振器的加工方法的技术资料

文档序号:15694862

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本发明提供一种石英晶体谐振器的加工方法,其包括对待加工的晶片清洗,并对清洗后的晶片进行上片点胶;对点胶后的晶片,通过在线监测溅镀频率,进行双侧溅镀镀膜,并对镀膜后的晶片进行真空退火处理。本发明的一种石英晶体谐振器的加工方法,将所有的加工步骤...
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