下载一种基于SOI的异质结热不敏感激光器结构和制造方法的技术资料

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本发明涉及激光器技术领域,提供了一种基于SOI的异质结热不敏感激光器结构和制造方法。其中结构包括SOI衬底、三五族有源区波导、负折射率温度系数的聚合物波导和硅波导,所述三五族有源区波导的出光口与所述硅波导的进光口耦合,所述硅波导的出光口与所...
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