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本发明公开了一种力电热多场耦合作用下微电子产品可靠性测试平台，属于微电子产品可靠性测试与评估设备技术领域。该测试平台由温度控制系统，电流加载系统，信号测试及采集系统和实验箱组成。温度控制系统控制冷却系统和加热器调整实验箱内的温度；电流加载系...
该专利属于中国科学院金属研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院金属研究所授权不得商用。

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