下载基于AlAs/Ge/AlAs结构的Ge基可重构偶极子天线的制备方法的技术资料

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本发明涉及一种基于AlAs/Ge/AlAs结构的Ge基可重构偶极子天线的制备方法,其中,所述可重构偶极子天线包括:GeOI衬底、第一天线臂、第二天线臂、同轴馈线以及直流偏置线;所述制备方法包括:选取GeOI衬底;在所述GeOI衬底上制作Al...
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